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產(chǎn)品名稱:
SONIC索尼克 超聲波微液體流量計(jì)
產(chǎn)品型號(hào):
μLF-300S
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
SONIC索尼克 超聲波微液體流量計(jì)
的詳細(xì)介紹
SONIC索尼克 超聲波微液體流量計(jì) μLF-300S
特點(diǎn)：
- 測(cè)量1ml/min以上的微小流量
- 利用數(shù)字信號(hào)處理高精度測(cè)量微小流量
- 傳感器結(jié)構(gòu)部件不接觸流體
- 應(yīng)用范圍廣泛
用于IPA、純水、藥液等半導(dǎo)體制造工序中微小區(qū)域的流量控制
產(chǎn)品規(guī)格
■微小液體流量計(jì)（傳感器分離型）
μLF-300S
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模型
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μLF-300S + μLT-8I（1/8 英寸）或 μLF-300S + μLT-4I（1/4 英寸）
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測(cè)量原理
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超聲波傳播時(shí)間差法
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待測(cè)液體
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純水、水溶液、各種化學(xué)溶液
* 使用水以外的液體時(shí)，請(qǐng)事先確認(rèn)。
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適用流體溫度范圍
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15℃～80℃
*60℃以上使用請(qǐng)?zhí)崆按_認(rèn)
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流體壓力
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0.5MPa以下
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流體運(yùn)動(dòng)粘度
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100mm^2/秒或更小
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流量范圍
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0 毫升/分鐘 ~ 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I)
0 毫升/分鐘 ~ 4000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-4I)
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測(cè)量精度
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±0.5%RD（1/8英寸：200～1000ml/min 條件：室溫、恒溫水）
±1ml/min（1/8英寸：0～199ml/min）
±0.5%RD（1/4英寸：0～199ml/min） 800～4000ml/min 條件：室溫、恒溫水）
±4ml/min（1/4英寸：0～799ml/min）
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重復(fù)性
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±0.2%（純品，液溫±0.5℃，30秒平均值）
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電源
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直流24V±10%
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功耗
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3.6W以下
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重量
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轉(zhuǎn)換器240g，檢測(cè)器70g
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尺寸 寬x高x深(毫米)
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轉(zhuǎn)換器 97 x 49 x 127
檢測(cè)器 90 x 25 x 20（不含管）
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檢測(cè)部分
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管材
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PFA（氟樹脂）
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管徑
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1/8 英寸外徑：3.17 毫米，內(nèi)徑：2.17 毫米，1/4 英寸外徑：6.35 毫米，內(nèi)徑：4.35 毫米
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結(jié)構(gòu)
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相當(dāng)于IP65
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附帶電纜
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5m，連接器連接
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輸入部分
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數(shù)字輸出
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4 線 RS-422、4 線 RS-485
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模擬輸出
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4-20mA（瞬時(shí)流量），負(fù)載電阻500Ω以下
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集成脈沖輸出
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1ch（集電極開路）
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報(bào)警輸出
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1ch（集電極開路）
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接點(diǎn)輸入
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1ch（零流量設(shè)置或積分**）
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按鍵輸入
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4個(gè)輸入按鈕
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